公布日期：2022年07月06日
第4講 關于電子光束及離子
半導體生產設備中有使用電子光束及離子的裝置。
使用電子光束及離子的裝置
裝置代表例
?電子光束描畫裝置
?電子光束曝光裝置
?掃描電子顯微鏡
?離子注入裝置
具體列舉以上裝置示例。
此類裝置大多使用磁性較低的部件，以免對電子光束和離子產生影響。
此外，為了避免與空氣中的分子碰撞，在真空環境下使用電子光束，因此大部分裝置均配備了真空室。
請由此參看真空環境內容。
?電子光束描畫裝置
?電子光束曝光裝置
?掃描電子顯微鏡
?離子注入裝置
具體列舉以上裝置示例。
此類裝置大多使用磁性較低的部件，以免對電子光束和離子產生影響。
此外，為了避免與空氣中的分子碰撞，在真空環境下使用電子光束，因此大部分裝置均配備了真空室。
請由此參看真空環境內容。
NBK提供無磁性產品。
請由此查看全部產品系列
也有避免磁化部分的工具。
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| 材質 | 鉭 | C5191（磷青銅） | 64鈦合金 | 純鈦合金 | 鈦合金 | SUS316L |
| 產品名稱 | 內六角螺栓 （鉭） |
磷青銅內六角圓柱頭螺栓 | 高強度鈦合金內六角圓柱頭螺栓 | 純鈦內六角圓柱頭螺栓 | 高強度鈦合金十字槽埋頭小螺釘 | 內六角極短頭螺栓（不銹鋼制） |
| 代表型號 | SNSTA | SNSP | SNSTG | SNST | SNFTG | SSHL |
| 產品系列 請看這里 |
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產品系列請看這里 | 產品系列 請看這里 |
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也有避免磁化部分的工具。
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| 材質 | 64鈦合金 | CFRTP（碳纖維增強熱可塑性樹脂） |
| 產品名稱 | 鈦合金六角扳手 | CFRTP活動扳手 |
| 代表型號 | SKHTG | SKMWCP-200 |
| 產品系列請看這里 | ||
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