公布日期：2022年06月15日
第2講 關于真空環境
很多半導體生產設備都使用了真空技術。
真空并不是所有的裝置都需要，主要是使用等離子體及電子光束的裝置需要。
我們將利用真空泵形成真空環境的盒子、房間稱為真空室。
真空并不是所有的裝置都需要，主要是使用等離子體及電子光束的裝置需要。
我們將利用真空泵形成真空環境的盒子、房間稱為真空室。
為什么半導體生產設備需要真空？
?為了減少雜質，提高反應的質量
在雜質較少的真空中通過成膜及蝕刻等加工，可進行高質量處理。
?為了降低沸點
通過降低沸點，可以在較低的溫度下處理芯片。
抑制溫度變化，芯片不易變形。
并且，制造裝置側也需要采用可承受高溫的材質、規格。
?為了產生等離子體
如果是低壓，施加的電力就會變低。
并且還可以用各種氣體種類產生等離子體。
在雜質較少的真空中通過成膜及蝕刻等加工，可進行高質量處理。
?為了降低沸點
通過降低沸點，可以在較低的溫度下處理芯片。
抑制溫度變化，芯片不易變形。
并且，制造裝置側也需要采用可承受高溫的材質、規格。
?為了產生等離子體
如果是低壓，施加的電力就會變低。
并且還可以用各種氣體種類產生等離子體。
真空的分類
盡管統稱為真空，但也分為若干類。
?低真空 100 kPa～100 Pa
?中真空 100 Pa～0.1 Pa
?高真空 0.1 Pa～10-? Pa
?超高真空 10-?Pa以下
?低真空 100 kPa～100 Pa
?中真空 100 Pa～0.1 Pa
?高真空 0.1 Pa～10-? Pa
?超高真空 10-?Pa以下
NBK備有適于在真空環境下使用的產品
真空裝置用螺絲
備有為排除螺孔底部及鉆孔中殘留氣體的抽真空提供支持的螺絲、墊圈。
可抑制使用時的脆性破壞和在真空環境下發生漏氣。
＜豐富的產品系列＞ 請由此查看真空裝置用螺絲的全部產品系列
?低排氣
通過特殊化學研磨處理，改善表面粗糙度。漏氣量極小。
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| 材質 | SUSXM7 (相當于SUS304) |
鈦合金 | |||
| 產品名稱 | 內六角圓柱頭螺栓 （通孔型） |
純鈦內六角圓柱頭螺栓 （通孔型） |
內六角極短頭螺栓 （鈦合金 / 通孔型） |
鈦合金十字槽埋頭小螺絲 （通孔型） |
鈦合金十字槽盤頭小螺絲 （通孔型） |
| 代表型號 | SVSS-PC | SVST | SVSHT | SVFT | SVPT |
| 產品系列請看這里 | |||||
?各種材質
備有耐腐蝕性高的鎳鉻合金（相當）或哈氏合金（相當）、非磁性鈦合金等廣泛產品系列。
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| 材質 | SUS304?SUSXM7 （相當于SUS304) |
SUS316L | ||||
| 產品名稱 | 內六角圓柱頭螺栓 （通孔型） |
六角螺栓 （通孔型） |
內六角止動螺絲 (通孔型) |
內六角圓柱頭螺栓 （SUS316L / 通孔型） |
墊圈裝入型高強度不銹鋼 內六角圓柱頭螺栓 （通孔型） |
內六角極短頭螺栓 （SUS316L / 通孔型） |
| 代表型號 | SVSS | SVHS | SVTS | SVSL | SVSQLG | SVSHL |
| 產品系列請看這里 | 產品系列請看這里 | |||||
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| 材質 | 相當于鎳鉻合金 | 純鉬 | 相當于哈氏合金 | 鋁合金 | 純鈦 | |
| 產品名稱 | 內六角圓柱頭螺栓 （相當于鎳鉻合金 / 通孔型） |
鉬制內六角圓柱頭螺栓 （通孔型） |
內六角圓柱頭螺栓 （相當于哈氏合金 C-22 / 通孔型） |
內六角圓柱頭螺栓 （相當于哈氏合金 C-276 / 通孔型） |
鋁合金內六角圓柱頭螺栓 （通孔型） |
純鈦內六角圓柱頭螺栓 （通孔型） |
| 代表型號 | SVSI | SVSM | SVSH-C22 | SVSH-C276 | SVSA | SVST |
| 產品系列 請看這里 |
產品系列 請看這里 |
產品系列請看這里 |
產品系列 請看這里 |
產品系列 請看這里 |
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?各種形狀
備有短頭螺栓及墊圈裝入型、夾緊螺絲等廣泛產品系列。
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| 形狀示例 | 短頭螺栓 | 極短頭螺栓 | 六角支柱 | 夾緊螺絲 | 帶墊圈 | 墊圈 |
| 產品名稱 | 內六角短頭螺栓 （通孔型） |
內六角極短頭螺栓 （通孔型） |
六角支柱 （通孔型） |
夾緊螺絲 （通孔型） |
墊圈裝入型高強度不銹鋼內六角圓柱頭螺栓 （通孔型） |
墊圈（通槽型） |
| 代表型號 | SVLS |
SVSHS | SHVAS | SCSS-VR | SVSQLG | SWAS-VF |
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產品系列 請看這里 |
產品系列 請看這里 |
產品系列 請看這里 |
產品系列 請看這里 |
產品系列 請看這里 |
?粘連、燒結對策
備有適于粘連、燒結對策的產品。
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| 材質 | SUS316L | SUSXM7(相當于SUS304) |
SUSXM7(相當于SUS304) |
| 產品名稱 | 內六角圓柱頭螺栓 （ 通孔型/ 表面硬化處理） |
內六角圓柱頭螺栓 （通孔型/ 二硫化鉬噴丸） | 內六角圓柱頭螺栓 （通孔型/ 鍍銀） |
| 代表型號 | SVSL-PN | SVSS-MOS | SVSS-AG |
| 產品系列請看這里 | |||
請由此查看真空裝置用螺絲的全部產品系列
低排氣產品
除真空裝置用螺絲之外，還備有低排氣的螺絲、聯軸器。?螺絲
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| 材質 | SPD-C | SPDC-H | SPE-C |
| 產品名稱 | VESPEL SP-1 | VESPEL SCP-5000 | PEEK |
| 產品系列請看這里 |
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?聯軸器
我們備有可用于無塵室、真空中、高溫（80℃以上）等特殊環境的聯軸器。
| 類型 | 一體狹縫切割型 | 十字滑塊型 | 膜片型 | ||||
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| 照片 |  |
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| 型號 | XSTS | XWSS | MSXP | MOHS | MOP | XBWS＊ | XBSS＊ |
| 材質 | SUS316L | SUS316L | PEEK | SUS303 VESPEL＊＊ SUSXM7 |
A2017 PEEK SUSXM7 |
SUS303 SUSXM7 |
SUS303 SUSXM7 |
| 洗凈方法 | 超聲波洗凈 | 超聲波洗凈 | 超聲波洗凈 | 超聲波洗凈 | 超聲波洗凈 | 超聲波洗凈＊ | 超聲波洗凈＊ |
| 低塵 | ◎ | ◎ | ◎ | △ | △ | ○ | ○ |
| 適用于真空環境 | ○ | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ○ | ○ |
| 低排氣 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 耐熱 | ○ | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ○ | ○ |
| 耐藥性 | ◎ | ◎ | ◎ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 零背隙 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ||
| 高扭矩 | ○ | ○ | ○ | ○ | |||
| 高扭轉剛性 | ◎ | ◎ | |||||
| 容許誤差調整 | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ○ | ○ | |
◎:特優 ○:優 △:可能產生磨屑。
＊XBWS XBSS 為未洗凈品。可根據客戶要求進行“無塵洗凈、無塵包裝”。
＊＊VESPEL是美國杜邦公司的注冊商標。
無塵洗凈、無塵包裝服務
可提供無塵洗凈和無塵包裝，可以直接在真空室及無塵室中使用。各種半導體生產工序的課題解決案例
下面介紹各種半導體生產工序的課題解決案例。預工序請點擊這里
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